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  英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂

  IT之家 5 月 6 日消息，英国南安普敦大学当地时间 4 月 30 日宣布开设全球第二家电子束光刻工厂。这是日本境外的首座同类设施，也是欧洲首个尖端半导体工厂。根据IT之家的了解，不同于现有的主流商用技术路线 —— 激光图案化，电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光，绘制出半导体电路图案。电子束光刻

  2025-05-06 10:32:00